SMU模块

S2035 高精度SMU

l 直流IV测试

±200V/1A 量程

最高20W输出功率

最小电流分辨率0.1fA

30uV电压测量精度

四象限操作

l 脉冲IV测试

±200V/3A 量程

30uV电压测量精度

最小脉冲宽度50us

l 瞬态时域测试

任意波形输出，最高采样率1.8MS/s

最小10us时间步进

采样点数可达百万

S2039 中精度SMU

l 直流IV测试

±60V/3A 量程

最高20W输出功率

最小电流分辨率1fA

30uV电压测量精度

四象限操作

l 脉冲IV测试

±60V/10A 量程

30uV电压测量精度

最小脉冲宽度50us

l 瞬态时域测试

任意波形输出，最高采样率1.8MS/s

最小10us时间步进

采样点数可达百万